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關(guān)于鋁銅合金靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹

日期:2022-07-24 瀏覽:85

鋁銅合金靶材

鋁銅靶材很堅硬,熔點(diǎn)是640℃,一般是1~3%的銅組成,跟金屬鋁的化學(xué)性質(zhì)相似,輕而抗張強(qiáng)度大。鋁銅的主要性能特點(diǎn)是室溫和高溫力學(xué)性能高,鑄造工藝簡單,切削加工性能好,耐熱性能優(yōu)良。鋁銅合金靶材在集成電路制造中具有重要作用。


鋁銅靶材特征

鋁銅靶材形狀:平面靶、異型定制

鋁銅靶材純度:3N,4N,5N

鋁銅靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制

我們還可以提供鋁銅合金塊、鋁銅合金板、鋁銅合金棒等


鋁銅合金靶材制備工藝

將銅含量為0.1-3wt%的鋁銅靶坯進(jìn)行預(yù)熱,預(yù)熱的溫度為750-850℃,預(yù)熱的時間為5-30min;

將預(yù)熱好的鋁銅靶坯進(jìn)行3次三向鍛造,第一鍛造,鍛造的溫度為750-850℃,變形量為40-60%,鍛造后的鋁銅靶坯沿x軸方向拔長至第一鍛造前的長度;第二鍛造的溫度為750-850℃,變形量為40-60%,第二鍛造后的鋁銅靶坯沿y軸方向拔長至第二鍛造前的長度;第三鍛造的溫度為750-850℃,變形量為40-60%,第三鍛造后的靶坯沿z軸方向拔長至第三鍛造前的長度,且x軸方向、y軸方向和z軸方向中的任意兩個方向相互垂直,三向鍛造的鍛造比為1.5-2.5;

而后,進(jìn)行熱處理,熱處理的溫度為300-400℃,處理的時間為30-90min。水冷后,在溫度為10-30℃進(jìn)行冷壓,控制冷壓變形量為30-50%;

然后在10-30℃進(jìn)行冷軋,冷軋時,每道次的下壓量為10-20mm,冷軋控制變形量為60-85%;

后校平,經(jīng)機(jī)加工,得到鋁銅合金靶材。

該方法制備的鋁銅靶材,品粒分布均勻、晶粒尺寸≤100um,同時簡化了工藝流程,縮短了加工周期,提高了生產(chǎn)效率。


鋁銅合金靶材成分表

上圖是鋁銅合金靶材的材質(zhì)單

鋁銅合金靶材應(yīng)用

鋁銅合金靶材主要用于集成電路、太陽能電池、平板顯示等領(lǐng)域。

在集成電路領(lǐng)域,它被用于制作互連線和布線,以提高電路的性能和可靠性;

在太陽能電池領(lǐng)域,它被用于制作電極和背電極,以提高電池的效率和壽命;

在平板顯示領(lǐng)域,它被用于制作薄膜晶體管和光電器件,以提高顯示的亮度和分辨率。


鋁銅合金其他應(yīng)用

航空航天領(lǐng)域:由于其密度低、導(dǎo)熱性能好、強(qiáng)度高且具有良好的抗腐蝕性,鋁銅合金常用于制造航空器的結(jié)構(gòu)件,如機(jī)翼、機(jī)身和尾翼。此外,也可用于制造渦輪葉片、渦輪機(jī)殼和噴氣發(fā)動機(jī)的排氣系統(tǒng)等關(guān)鍵部件。

汽車制造領(lǐng)域:鋁銅合金在汽車行業(yè)中用于制造汽車零部件,以減輕車輛重量,提高燃油效率和性能。

電力及電子領(lǐng)域:作為優(yōu)質(zhì)的導(dǎo)電材料,鋁銅合金被廣泛應(yīng)用于高速電纜、導(dǎo)線和電路板的生產(chǎn)。在電子元器件制造中,鋁銅合金也用于芯片散熱器和封裝材料等。

建筑裝飾領(lǐng)域:鋁銅合金因其美觀和耐用的特性,也可用于建筑裝飾面板等應(yīng)用。


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